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教师名录
教师简介

瞿敏妮

高级实验师

所在系所:先进电子材料与器件平台

办公电话:34207734-8003

电子邮件:minni.qu@sjtu.edu.cn

通讯地址:微电子大楼103

研究方向

微纳加工相关量测技术    


代表性论文及专著

1. 原子层沉积超薄氮化铝薄膜的椭圆偏振光谱法表征 微纳电子技术 2022.
2. 聚焦离子束沉积铂纳米导线的电学失效机理 半导体技术 2021.
3. Homogenous and ultra-shallow lithium niobate etching by focused ion beam Precision Engineering 2020.